光刻(ke)(ke)機(ji)用低溫冷(leng)水機(ji)組多(duo)運(yun)用于各個行(xing)業之中，很(hen)多(duo)行(xing)業都(dou)需要購買光刻(ke)(ke)機(ji)來進行(xing)作業，這也涉及到光刻(ke)(ke)機(ji)用低溫冷(leng)水機(ji)組的日常維護。

　　1、光刻機(ji)用低溫冷水機(ji)組(zu)組(zu)冷卻(que)系統的基(ji)本部件有：冷凝器(qi)、受液器(qi)、干(gan)燥過濾器(qi)、蒸發器(qi)、熱膨脹閥等(deng)等(deng)。

　　2、光刻機(ji)(ji)(ji)用低溫冷(leng)水(shui)(shui)機(ji)(ji)(ji)組組是將常溫的水(shui)(shui)通過(guo)冷(leng)水(shui)(shui)機(ji)(ji)(ji)的壓(ya)縮(suo)機(ji)(ji)(ji)制冷(leng)到溫度以強化冷(leng)卻模具(ju)或(huo)機(ji)(ji)(ji)器，作(zuo)為單機(ji)(ji)(ji)使用，散(san)熱(re)裝(zhuang)置為內置之風(feng)扇，主(zhu)要有三個相互聯系(xi)(xi)的系(xi)(xi)統(tong)：制冷(leng)劑循環(huan)系(xi)(xi)統(tong)、水(shui)(shui)循環(huan)系(xi)(xi)統(tong)、電器自控系(xi)(xi)統(tong)。

　　3、光刻機用低(di)溫冷(leng)水機組(zu)蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)器(qi)中(zhong)的液態制(zhi)冷(leng)劑(ji)(ji)吸收水中(zhong)的熱量并開(kai)始蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)，終制(zhi)冷(leng)劑(ji)(ji)與(yu)水之間形成溫度差，液態制(zhi)冷(leng)劑(ji)(ji)亦蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)變(bian)為氣態，后(hou)被壓(ya)(ya)縮機吸入并壓(ya)(ya)縮（壓(ya)(ya)力和溫度增加）,氣態制冷劑(ji)(ji)通過(guo)冷凝器(qi)(qi)釋放熱(re)量(liang)，凝結成液體(ti)(ti)。通過(guo)膨脹閥(fa)（或毛細管(guan)）節流后變成低(di)溫低(di)壓制冷劑(ji)(ji)進入蒸發(fa)器(qi)(qi)，完成制冷劑(ji)(ji)循環過(guo)程。

　　4、定期(qi)清(qing)洗冷(leng)凝器、蒸發器，使整機保(bao)持良好運轉；保(bao)持光刻機用低(di)溫冷(leng)水機組冷(leng)卻塔清(qing)潔干(gan)凈，定期(qi)清(qing)洗，冷(leng)卻塔內不得有雜物(wu)及(ji)其它障礙(ai)物(wu)，以免造成傷(shang)害(hai)。

　　5、光刻(ke)機(ji)用低(di)溫冷(leng)水(shui)機(ji)組的冷(leng)凍水(shui)泵不可在(zai)水(shui)箱內無水(shui)運轉；操作(zuo)開關請盡理避免連續切換(huan)。

6、水溫達到(dao)設(she)定溫度時，壓縮機會自動停止運行，此(ci)屬(shu)正常(chang)現象；溫度開關應避免(mian)設(she)定在5℃以下(xia)，防(fang)止蒸發器結冰。