光刻機(ji)制(zhi)冷機(ji)組的種(zhong)類(lei)有很多(duo)，各有各的特點，用(yong)戶需要根據(ju)使用(yong)需求選擇適(shi)合的光刻機(ji)制(zhi)冷機(ji)組。那么(me)到底有哪些光刻機(ji)制(zhi)冷機(ji)組呢？

　　1、根(gen)據機(ji)型(xing)構(gou)造光(guang)刻機(ji)制冷(leng)機(ji)組根(gen)據冷(leng)卻(que)方(fang)式的(de)差異，也被分成(cheng)了風冷(leng)式和水冷(leng)式。

　　2、冷(leng)卻介(jie)質(zhi)有鹽(yan)水，乙二醇等等,也可(ke)以(yi)根據(ju)冷(leng)卻介質的不同(tong)進(jin)行分類。

　　3、光(guang)刻(ke)機制(zhi)冷(leng)機組的壓縮機為活塞式、離心式,、渦旋式(shi)(shi)、螺(luo)桿式(shi)(shi)，我們(men)也(ye)可以根據(ju)光(guang)刻機(ji)(ji)制(zhi)冷機(ji)(ji)組(zu)壓(ya)縮機(ji)(ji)對(dui)其進行(xing)分(fen)(fen)類(lei)。此外，光(guang)刻機(ji)(ji)制(zhi)冷機(ji)(ji)組(zu)的蒸發(fa)器也(ye)有很多類(lei)型，也(ye)可以根據(ju)蒸發(fa)器類(lei)型差異對(dui)其進行(xing)劃分(fen)(fen)。根據(ju)出(chu)水溫度又或是制(zhi)冷原理的不同，又被分(fen)(fen)成了吸收式(shi)(shi)和壓(ya)縮式(shi)(shi)。

　　4、在(zai)更(geng)換(huan)的(de)時候，需(xu)要先取(qu)下連接壓(ya)縮(suo)機(ji)排氣(qi)管(guan)(guan)和吸(xi)氣(qi)管(guan)(guan)的(de)連接管(guan)(guan)道(dao)，由于連接冷凝器(qi)和管(guan)(guan)道(dao)距離較(jiao)近，不容易從管(guan)(guan)口中(zhong)取(qu)出，因此應(ying)先取(qu)下連接壓(ya)縮(suo)機(ji)排氣(qi)管(guan)(guan)和吸(xi)氣(qi)管(guan)(guan)的(de)管(guan)(guan)道(dao)。

　　5、安裝四通(tong)閥閥體(ti)的時候，可以使用焊槍加熱連(lian)接四通(tong)間根部3根管道的管口，使(shi)表面剩余焊料充分熔化、流(liu)動直(zhi)至掉下，使(shi)管口表面光滑，這樣能順利插入至四通閥管口。因焊接時難點在于根部(bu)的3個管道，可將(jiang)連(lian)接壓縮機(ji)排氣管的管道扳(ban)到一邊，待焊接3個(ge)管口(kou)后再焊接(jie)連(lian)接(jie)壓縮(suo)機排氣管的管口(kou)。

　　6、由于四通間中間管(guan)(guan)道難(nan)焊(han)接(jie)(jie)(jie)，應首先焊(han)接(jie)(jie)(jie)中間管(guan)(guan)道，再焊(han)接(jie)(jie)(jie)兩(liang)側(ce)管(guan)(guan)道，接(jie)(jie)(jie)著焊(han)接(jie)(jie)(jie)連(lian)接(jie)(jie)(jie)壓縮機排(pai)氣管(guan)(guan)的管(guan)(guan)道，安裝和(he)焊(han)接(jie)(jie)(jie)接(jie)(jie)(jie)連(lian)壓縮機排(pai)氣管(guan)(guan)管(guan)(guan)口(kou)之后，四個接(jie)(jie)(jie)口(kou)焊(han)接(jie)(jie)(jie)完成啦

7、安裝完光刻(ke)機制冷機組(zu)的四通閥之后(hou)，需要注意制冷系統的撿漏工作，撿漏結束再投入(ru)使(shi)用。