在(zai)半導體制(zhi)造過(guo)程中,許多(duo)關鍵工(gong)藝如晶圓清(qing)洗、光刻、蝕刻等都需要溫(wen)(wen)度(du)控制(zhi)。這些工(gong)藝對溫(wen)(wen)度(du)波(bo)動非常靈敏,微小的溫(wen)(wen)度(du)變化都可能(neng)影響產品的質量和性(xing)能(neng)。
一(yi)、半導體(ti)水冷機chiller需求分析(xi)
半導體制(zhi)(zhi)造工藝對溫度控制(zhi)(zhi)精度的要求(qiu)高(gao),通常(chang)需要達到±0.5℃以內。在生(sheng)產線設備密集,發熱量大,需要冷(leng)水機具(ju)備足夠的制(zhi)冷(leng)能力。生(sheng)產線需要24小時不間斷運行,冷水機能夠長(chang)期(qi)穩定可靠地工作(zuo)。
二、半導體(ti)水(shui)冷(leng)機chiller解決方案
針對上述需(xu)求,某半導體制造企(qi)業(ye)選(xuan)擇了定制化的半導體水冷(leng)機chiller解決(jue)方案。該方案包括(kuo):
1、制冷系統:半導體(ti)水冷機chiller采用制冷壓(ya)縮機和換熱器,確保(bao)冷水機具備足夠的制冷能力,同時降(jiang)低能耗。
2、溫度(du)控(kong)(kong)制系統(tong):配備高(gao)精(jing)度(du)的溫度(du)傳感器和(he)智能控(kong)(kong)制系統(tong),能夠實時監測并調整水溫,確保溫度(du)控(kong)(kong)制精(jing)度(du)達到±0.5℃以內。
3、穩定(ding)可靠的(de)運行:選用(yong)品質的(de)零部件和(he)嚴(yan)格的(de)生(sheng)產工(gong)藝(yi),確保(bao)(bao)冷(leng)水機能夠長期穩定(ding)可靠地工(gong)作(zuo)。同時,配備完善的(de)安全保(bao)(bao)護(hu)裝(zhuang)置(zhi),如高低壓壓力保(bao)(bao)護(hu)裝(zhuang)置(zhi)等,以應對突(tu)發的(de)情況。
因此,半(ban)導體制造企業需要配置(zhi)穩定的(de)半(ban)導體水冷機chiller來確保生(sheng)產過(guo)程的順利進(jin)行。